Theo nguyên lý hoạt động của bơm chân không nhập khẩu, bơm chân không về cơ bản có thể chia thành hai loại, cụ thể là bơm chuyển khí và bơm thu khí. Nhưng với nhu cầu ngày càng tăng về phạm vi áp suất của công nghệ ứng dụng chân không trong lĩnh vực sản xuất và nghiên cứu khoa học, chủ yếu cần sử dụng một số loại bơm chân không để tạo thành hệ thống bơm chân không để bơm không khí kết hợp nhằm đáp ứng yêu cầu của quá trình sản xuất và nghiên cứu khoa học. Do đó, có nhiều trường hợp sử dụng các cụm chân không gồm nhiều loại bơm chân không khác nhau để bơm. Dưới đây, chúng tôi sẽ giới thiệu sơ lược một số loại bơm chân không truyền khí.
Máy bơm chuyển khí là máy bơm chân không nhập khẩu có thể liên tục hút và đẩy khí để đạt được mục đích bơm. Về cơ bản có hai loại máy bơm:
Loại chính đầu tiên là bơm chân không thể tích thay đổi: Bơm chân không thể tích thay đổi là loại bơm chân không sử dụng sự thay đổi định kỳ về thể tích buồng bơm để hoàn thành quá trình hút và xả. Khí được nén trước khi xả. Loại bơm này được chia thành hai loại: pittông và quay:
⑴ Bơm chân không pittông: Sử dụng piston trong buồng bơm để thực hiện chuyển động qua lại, hút vào, nén và xả khí. Do đó, nó còn được gọi là bơm chân không piston (bơm chân không màng cũng là bơm chân không pittông).
⑵ Máy bơm chân không quay: Sử dụng rotor bên trong buồng bơm để quay và hút, nén và xả khí. Có một số loại máy bơm chân không quay:
① Bơm chân không kín dầu: Là bơm chân không thể tích thay đổi quay, sử dụng dầu để bịt kín các khe hở giữa các bộ phận chuyển động và giảm không gian có hại. Loại bơm này thường đi kèm với thiết bị đệm khí, vì vậy một số còn được gọi là bơm chân không đệm khí. Theo đặc điểm cấu trúc của nó, có thể chia thành năm loại sau:
a) Bơm chân không cánh gạt quay: Roto được lắp trong vỏ bơm với độ lệch tâm nhất định và gần với bề mặt cố định của vỏ bơm. Hai (hoặc nhiều) cánh gạt quay được lắp trong rãnh rotor. Khi rotor quay, các cánh gạt quay có thể trượt qua lại dọc theo rãnh hướng tâm của nó và luôn tiếp xúc với thành trong của vỏ bơm. Cánh gạt quay này quay cùng với rotor và có thể chia khoang bơm thành nhiều thể tích thay đổi.
b) Bơm chân không van trượt: Van trượt được lắp bên ngoài rôto lệch tâm, rôto quay để dẫn động van trượt trượt và lăn dọc theo thành trong của vỏ bơm. Thanh van trượt ở phần trên của van trượt có thể trượt trong thanh dẫn hướng van trượt xoay, chia khoang bơm thành hai thể tích thay đổi.
c) Bơm chân không tấm cố định: Có một rotor lệch tâm nằm gần bề mặt bên trong của bơm bên trong vỏ bơm, và một tấm trượt hướng tâm luôn tiếp xúc với bề mặt rotor được lắp trên vỏ bơm, khi rotor quay, tấm trượt có thể trượt lên xuống để chia khoang bơm thành hai thể tích thay đổi.
d) Bơm chân không cycloid: Một rôto có hình dạng cycloid được lắp lệch tâm trong khoang bơm, quay dọc theo thành trong của khoang bơm và chia khoang bơm thành hai thể tích thay đổi.
e) Bơm chân không cánh gạt quay nhiều buồng: bơm chân không cánh gạt quay có nhiều buồng độc lập được dẫn động bởi cùng một động cơ điện song song bên trong vỏ bơm.
② Bơm chân không vòng chất lỏng: Một rotor có nhiều cánh được lắp lệch tâm bên trong vỏ bơm. Khi nó quay, nó sẽ ném chất lỏng (thường là nước hoặc dầu) về phía vỏ bơm để tạo thành một vòng chất lỏng đồng tâm. Vòng chất lỏng và cánh rotor tạo thành một số thể tích nhỏ với sự thay đổi thể tích định kỳ. Khi môi trường là nước, nó cũng được gọi là bơm chân không vòng nước.
③ Máy bơm chân không Roots: Máy bơm được trang bị hai rotor đôi hoặc nhiều cánh quạt quay đồng bộ theo hướng ngược nhau, và có một khoảng cách nhất định giữa các rotor và giữa rotor và thành trong của vỏ bơm. Nó thuộc về máy bơm chân không công suất thay đổi quay. Máy bơm tăng áp cơ học là loại máy bơm chân không này.
④ Bơm chân không trục vít: là thiết bị hút khí sử dụng một cặp trục vít quay đồng bộ với tốc độ cao trong vỏ bơm, tạo ra hiệu ứng hút và xả. Đây là sản phẩm cải tiến của bơm chân không kín dầu, có thể loại bỏ khí chứa lượng lớn hơi nước và lượng nhỏ bụi. Được sử dụng rộng rãi trong các doanh nghiệp dược phẩm và hóa chất lớn tại Trung Quốc.
⑤ Bơm chân không kiểu móng vuốt: Nguyên lý của bơm chân không kiểu móng vuốt tương tự như Roots, sử dụng hai rotor hình móng vuốt và buồng bơm để tạo thành thể tích hút. Trong quá trình quay, rotor có thể tự động đóng mở.
⑥ Bơm chân không xoáy: Bơm chân không xoáy là bơm chân không không dầu được phát triển từ máy nén xoáy.
Trong số đó, bơm chân không trục vít, bơm chân không móng vuốt và bơm chân không xoáy cũng có thể được gọi là bơm chân không khô, có thể đạt được khả năng bịt kín không dầu.
Loại chính thứ hai là bơm truyền động lượng. Bơm chân không nhập khẩu này dựa vào các cánh quạt quay tốc độ cao hoặc các tia phản lực tốc độ cao để truyền động lượng cho khí hoặc các phân tử khí, cho phép khí liên tục được truyền từ đầu vào của bơm đến đầu ra. Nó có thể được chia thành các loại cụ thể sau:
Máy bơm chân không phân tử: Là máy bơm chân không sử dụng rôto quay tốc độ cao để truyền năng lượng cho các phân tử khí, khiến chúng nén và xả ra. Có các loại sau:
① Bơm phân tử kéo: Các phân tử khí va chạm với rôto chuyển động tốc độ cao để tạo ra động lượng, động lượng này được truyền đến đầu ra. Do đó, đây là bơm truyền động lượng.
② Bơm phân tử tuabin: Bơm được trang bị đĩa có rãnh hoặc rôto có cánh, quay giữa các đĩa stato (hoặc cánh cố định). Vận tốc tuyến tính của chu vi rôto rất cao. Loại bơm này thường hoạt động ở trạng thái dòng chảy phân tử.
③ Bơm phân tử hỗn hợp: Là bơm chân không phân tử hỗn hợp được cấu thành từ hai loại bơm phân tử là bơm tuabin và bơm kéo, được kết nối nối tiếp.
⑵ Máy bơm chân không phản lực: Là máy bơm truyền động lượng sử dụng luồng phản lực tốc độ cao tạo ra bởi sự sụt áp của hiệu ứng Venturi để vận chuyển khí đến đầu ra, thích hợp để làm việc trong trạng thái dòng chảy nhớt và chuyển tiếp. Loại máy bơm này có thể được chia thành các loại sau đây một cách chi tiết:
① Bơm chân không phản lực chất lỏng: là bơm chân không phản lực sử dụng chất lỏng (thường là nước) làm môi trường làm việc.
② Bơm chân không phản lực khí: là bơm chân không phản lực sử dụng khí không ngưng tụ làm môi trường làm việc.
③ Bơm chân không phản lực hơi nước: là bơm chân không phản lực sử dụng hơi nước (như nước, dầu hoặc thủy ngân) làm môi trường làm việc.
⑶ Máy bơm khuếch tán: máy bơm chân không phản lực sử dụng luồng hơi nước áp suất thấp và tốc độ cao (như dầu hoặc hơi thủy ngân) làm môi trường làm việc. Các phân tử khí khuếch tán vào luồng hơi và được đưa đến đầu ra. Mật độ của các phân tử khí trong luồng luôn rất thấp và máy bơm chân không nhập khẩu này phù hợp để làm việc ở trạng thái dòng phân tử. Có thể chia thành:
① Bơm khuếch tán tự làm sạch: Bơm khuếch tán dầu trong đó các tạp chất dễ bay hơi trong chất lỏng bơm được vận chuyển bằng máy móc chuyên dụng đến đầu ra mà không quay trở lại nồi hơi.
② Bơm khuếch tán phân đoạn: Loại bơm này có thiết bị chưng cất, cho phép hơi chất lỏng làm việc có áp suất hơi thấp hơn đi vào vòi phun để vận hành chân không cao, trong khi hơi chất lỏng làm việc có áp suất hơi cao hơn đi vào vòi phun để vận hành chân không thấp. Đây là bơm khuếch tán dầu nhiều tầng.
Bơm phản lực khuếch tán: Là bơm truyền động lượng gồm một vòi phun đơn cấp hoặc nhiều cấp có đặc tính bơm khuếch tán và một vòi phun đơn cấp hoặc nhiều cấp có đặc tính bơm chân không phản lực nối tiếp. Bơm tăng áp dầu thuộc loại này.
