Hiệu chuẩn máy đo chân khôngđóng một vai trò quan trọng trong lĩnh vực đo chân không và là công cụ hỗ trợ chính cho toàn bộ nghiên cứu và phát triển đo chân không. Thông qua hiệu chuẩn, không chỉ các máy đo chân không tương đối hiện có có thể được thống nhất theo các tiêu chuẩn đáng tin cậy mà còn có thể tiến hành nghiên cứu chuyên sâu về hiệu suất của máy đo chân không trong giai đoạn phát triển.
Cái gọi là "hiệu chuẩn máy đo chân không" về cơ bản đề cập đến hoạt động "hiệu chuẩn" của máy đo chân không tương đối. Cần lưu ý rằng việc hiệu chuẩn máy đo chân không được thực hiện trong các điều kiện cụ thể đối với một loại khí cụ thể, từ đó thu được hệ số hiệu chuẩn hoặc đường cong hiệu chuẩn.
Khi loại khí thay đổi hoặc điều kiện làm việc thay đổi, đường cong hiệu chuẩn ban đầu không còn được áp dụng và phải được hiệu chuẩn lại. Ngay cả đối với cùng một dụng cụ đo, nếu thay đồng hồ đo thì đường chuẩn của nó cũng sẽ thay đổi tương ứng. Có thể thấy, việc hiệu chuẩn máy đo chân không tương đối không những cần thiết mà còn cần phải được tiến hành thường xuyên, nếu không có thể xảy ra sai số đo vượt quá phạm vi cho phép.
Hiệu chuẩn nhằm vào máy đo chân không tổng thể, bao gồm cả máy đo chân không như một thiết bị chính và mạch điện tử như một thiết bị phụ. Thông thường, cả hai được hiệu chuẩn cùng nhau, nhưng sẽ lý tưởng hơn nếu hiệu chỉnh máy đo chân không và mạch điện tử riêng biệt.
Hiệu chuẩn máy đo chân không đòi hỏi phải có máy đo chân không và hệ thống hiệu chuẩn tiêu chuẩn và đạt được thông qua các phương pháp cụ thể.
Các tiêu chuẩn chân không bao gồm máy đo chân không tuyệt đối, máy đo chân không tương đối tiêu chuẩn (hoặc máy đo chân không tiêu chuẩn thứ cấp) và hệ thống hiệu chuẩn tuyệt đối.
Tất cả các máy đo chân không tuyệt đối đều có thể dùng làm tiêu chuẩn chân không. Hệ thống hiệu chuẩn máy đo chân không sử dụng máy đo chân không tuyệt đối làm tham chiếu và tính toán chính xác áp suất thấp được tái tạo sau khi giảm áp suất theo tiêu chuẩn được gọi là hệ thống hiệu chuẩn tuyệt đối.
Ví dụ, hệ thống hiệu chuẩn phương pháp giãn nở áp dụng nguyên lý cân bằng nhiệt tĩnh, dựa trên định luật Boyle về khí lý tưởng. Hệ thống này mở rộng giới hạn hiệu chuẩn dưới của đồng hồ đo áp suất ống chữ U đến độ chân không cao (10 ⁻⁴ Pa). Máy đo chân không có độ ổn định và độ chính xác cao có thể được sử dụng làm tiêu chuẩn thứ cấp để hiệu chỉnh máy đo chân không làm việc sau khi hiệu chuẩn. Đồng hồ đo chân không như vậy được gọi là đồng hồ đo chân không tiêu chuẩn thứ cấp. Trong lĩnh vực đo lường, chuẩn là một hệ thống được sắp xếp theo mức độ chính xác.
Vào ngày 1 tháng 5 năm 1990, Cơ quan Giám sát Kỹ thuật Nhà nước đã phê duyệt và bắt đầu triển khai tiêu chuẩn quan trọng "Hệ thống hiệu chuẩn dụng cụ đo chân không" (JJG2022-89).
Với sự phát triển nhanh chóng của công nghệ hiện đại, những tiến bộ đáng kể cũng đã đạt được trong lĩnh vực công nghệ chân không. Hiện tại, phạm vi thu thập và đo chân không đã được mở rộng đáng kể, mở rộng từ áp suất khí quyển ban đầu (10 ⁵ Pa) đến phạm vi rất rộng của chân không cực cao (<10 ⁻¹⁰ Pa).
Tuy nhiên, trong thực tế hoạt động nghiên cứu khoa học và sản xuất công nghiệp, thông qua thực tiễn sâu rộng và khám phá thống kê, phạm vi áp suất mà con người tham gia chủ yếu tập trung trong khoảng từ 10 ⁻⁸ đến 10 ⁵ Pa. Trong phạm vi áp suất cụ thể này, để đảm bảo tính chính xác và nhất quán về các giá trị đo chân không, "Hệ thống hiệu chuẩn dụng cụ đo chân không" đã ra đời.
Hệ thống xác minh này đóng một vai trò quan trọng. Đây là mắt xích quan trọng trong việc đảm bảo tính chính xác và độ tin cậy của các giá trị đo chân không, qua đó có thể đạt được việc truyền tải hiệu quả các giá trị đo chân không giữa các mắt xích và thiết bị khác nhau.
Cụ thể, trong lĩnh vực đo lường chân không, độ chính xác của thiết bị đo thời gian chân không ở mọi cấp độ là rất quan trọng đối với toàn bộ quá trình đo. Hệ thống hiệu chuẩn giống như một thước đo chính xác, cung cấp tiêu chuẩn đo lường thống nhất cho các thiết bị đo thời gian chân không này và cho phép hiệu chuẩn nghiêm ngặt các cấp độ khác nhau của thiết bị đo thời gian chân không.
Và cần nhấn mạnh rằng hệ thống hiệu chuẩn chủ yếu nhắm vào phạm vi áp suất cụ thể từ 10 ⁻⁸ đến 10 ⁵ Pa. Trong phạm vi này, cho dù đó là thiết bị tiêu chuẩn chân không được bộ phận đo lường sử dụng để hiệu chuẩn và thử nghiệm, máy đo chân không được bộ phận nghiên cứu khoa học sử dụng trong quá trình thí nghiệm hoặc các thiết bị đo chân không tham gia vào quá trình sản xuất của bộ phận công nghiệp đều cần được hiệu chuẩn theo hệ thống hiệu chuẩn này để đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy của các giá trị đo chân không trong toàn bộ quá trình. sản xuất công nghiệp và quá trình nghiên cứu khoa học, đồng thời tránh các vấn đề khác nhau do đo chân không không chính xác, chẳng hạn như sai lệch kết quả thí nghiệm, chất lượng sản xuất không ổn định, v.v.
